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双色红外测温仪测量铸锭炉多晶硅材料

发布时间:2023/12/7 8:30:53 122人看过 字号:  

 多晶硅是单质硅的一种形态,其纯度要比单晶硅低,它可作拉制单晶硅的原料。多晶硅由多晶硅铸锭炉生产出来。多晶硅的生产是把高纯多晶硅料装入到铸锭炉中,抽真空后,将硅料熔化成液态,通过铸锭炉的自动化的操作,使硅料形成一个竖直温度梯度。液态硅自下向上缓慢地重新结晶,生成一块大晶粒的多单晶体的铸锭硅来。硅锭经过退火、冷却后出炉完成整个铸锭过程。
 
目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80%。硅材料是比较难测的物体,需要红外测温仪采用特殊的窄带滤色片来减小发射率变化的影响。一般采用短波长双色测温仪来测量多晶硅液面的温度。
 
双色红外测温仪是红外测温仪的一种。即测量物体在两个不同光谱范围内发出的红外辐射亮度并由这两个辐射亮度之比推断物体的温度,称为双色测温仪。实际上,双色测温仪并没有亮度和颜色的含义,这里"色"的含义应为红外波长或光谱,即为"双红外光谱测温仪"。
 
 
 
双色红外测温仪与单色红外测温仪相比具有无与伦比的优点:
 
1/基本可消除被测目标发射率对测温结果的影响。
 
2/对被测目标很小,不充满视场,测量路线上存在烟雾、尘埃等都不会对测量结果产生明显影响。
 
3/双色测温仪的工作温度主要是在中、高温区。
 
4/精度高,响应速度快,距离系数高。
 
凡被测温度较高,发射率难于确定,目标太小不能充满视场,测量线路上存在衰减辐射能量物质的情况,都可以用双色红外测温仪解决精确测温的问题,而单色测温仪较难解决上述问题。


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